福宜真空FE系列磁控溅射台_报价-上海福宜真空设备有限公司

FE系列磁控溅射台

品牌：福宜真空
产地：上海
关注度：784
型号：FE系列磁控溅射台
报价：面议
信息完整度：

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核心参数

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产品介绍

4in.三靶聚焦共溅射镀膜系统，可以满足多组份或多层金属和化合物溅射镀膜，样品台同时具备公转和自传功能，可以同时安装多片100mm样品，薄膜厚度均匀性达到5%，靶材利用率达到40%以上。强磁场设计，可以满足铁磁材料溅射。溅射阴极主体采用聚四氟乙烯设计，优化水冷设计，可以满足大功率密度溅射，成膜速率提高30%以上。

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工商信息

企业名称

上海福宜真空设备有限公司

企业类型

信用代码

91310114078107676B

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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上海福宜真空设备有限公司

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上海福宜真空设备有限公司，是致力于高端真空镀膜设备、复杂镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务的高新技术企业。公司创始人和核心技术团队，致力于复杂镀膜工艺的开发，镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合是公司发展的主要特色。相对于整机设备和镀膜工艺技术，国内核心部件的研究和制备技术水平与国外差距更大。公司投入超过1000万元，重点开发的核心部件主要有：高材料利用率（材料利用率超过40-60%以上）矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极（材料利用率达

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