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FE-MPP3600A 涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑,冷却方式为水冷,冷却水温度必须低于20 ℃。该泵转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑,简易可靠。
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